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常熟:科技创新与先进制造“合璧”,让更多科研成果落地生花!

常熟:科技创新与先进制造“合璧”,让更多科研成果落地生花!

时间: 2024-03-27 10:47 来源: 常熟市科技局 访问量:
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近日,省委、省政府召开“新春第一会”,吹响了加快打造具有全球影响力的产业科技创新中心的战斗号角。

作为首批国家创新型县(市)、苏南唯一的省科技创新体制综合改革试点地区,常熟将坚持把科技创新作为强市之本,高位推动政策集成、资源统筹、区域创新,全力推动科技创新与先进制造深度融合,切实提高科技成果转化和产业化水平,带动产业攀“高”逐“新”。

苏州光舵微纳科技股份有限公司2011年落户常熟先进制造业科技园。作为一家高新技术企业,公司致力于纳米压印设备、技术的研发及产业化应用,可为客户提供设备、工艺方案和生产技术支持。

得益于常熟科技人才相关政策支持,公司创始人史晓华先后入选“江苏省双创人才”“姑苏创新创业人才”“常熟领军创业创新人才”。

经过5年多时间的研发,光舵微纳科技打破技术垄断,于20168月推出了国内首台全自动纳米压印设备

该设备拥有国内柔性模板压印核心技术首创专利,实现了对光刻机的产业化替代,应用于LED细分行业PSS(蓝宝石图形化衬底)领域,生产产品产量较同类型设备翻番,良品率提高至90%以上,生产成本不断降低,国内市场占有率接近100%。自2020年投产以来,全自动纳米压印设备已在客户端量产PSS4000万片

为了推广设备,产出质量稳定、高品质的模板,2021年,光舵微纳科技在常熟建立一条工艺中试产品线

该产线配备了匀胶、压印、刻蚀和半导体清洗等全套生产工艺,可有效地为客户提供工艺和技术服务支持,满足客户柔性化定制需求,第一时间为他们解决生产过程中遇到的问题。目前,该产线可年产硅片模板上万片。

同年,公司通过常熟市科技攻关“揭榜挂帅”项目提出研发需求——“亚波长结构集成的红外偏振探测器研究”进行“张榜”,由中国科学院上海技术物理研究所薛永祺院士团队挂帅“揭榜”,致力于解决亚波长线宽下微纳图案化稳定低成本制作的难题,实现纳米压印技术在亚波长结构集成的红外探测材料偏振光器件方面的量产化制作,项目总投入超2000万元,财政经费支持200万元。

光舵微纳科技不断加大研发力度,在设备及材料方面取得新突破,已推出研发型和量产型纳米压印设备,拥有均匀气动热压、紫外柔性模板自动压印、滚轮式紫外压印等多项核心技术,LED-PSS行业的国内市场占有率接近100%

2023年,公司研发的高精度对准纳米压印光刻设备获苏州重大科技成果转化立项。该设备可在不小于6英寸基底上实现线宽小于100纳米、对准精度小于1微米的全自动高精度对准纳米压印量产制作,广泛应用于LED芯片、AR全息衍射光波导等半导体器件的微纳图形化制作,解决了纳米压印工艺实现高精度对准套刻量产化制作的难题

为攻克国内外“卡脖子”难题,光舵微纳科技持续推进技术创新,实现了纳米压印技术国产化自主可控,不断提升我国在集成电路、光学芯片加工等方面的竞争实力。

苏州光舵微纳科技股份有限公司技术负责人李其凡表示,未来,公司将朝向对准套刻压印技术、更高精度的对准技术、纳米级线宽集成电路的应用目标,争取有更好、更高质量的研发成果助力企业快速发展。

近年来,常熟企业创新活力充分迸发,全市研发经费支出占GDP的比重达4.18%领跑全省县级市

科技部门全力深化产学研融合,丰富校地合作内涵,撬动企业研发投入,科技创新成果遍地生花,全市技术合同成交额达169.08亿元

接下来,常熟将聚焦推动科技创新与先进制造深度融合这一核心主题,通过科技赋能“3+5+2”现代产业体系,推动产业向创新转型突围。一方面,市科技局将持续推动创新主体提质扩面,加强“硬科技”项目招引,挖掘创新基础好、发展潜力大的科创型企业,通过构建创新联合体推动企业抱团发展,树立创新企业标杆。另一方面,市科技局将强化平台载体赋能,支持企业建强、建优科研载体,加快推动规上工业企业研发载体全覆盖,让更多科研成果在常熟落地生花。

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